预算165万元 中山大学采购氢化物气相外延沉积系统-中山大学
项目详情
近日，中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目进行公开招标，招标项目的潜在投标人应在中山大学智能电子采购系统(https://www.zhizhengyun.com)获取招标文件，并于2024年04月09日 09点30分开标。 一、项目基本情况 项目编号：中大招(货)[2023]243号 项目名称：中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目 采购需求： 氢化物气相外延沉积系统，1套，预算金额：165万元，国产。 配置清单： 1、生长工艺腔一套;样品传动系统一套;电阻加热系统一套;真空系统一套(含耐腐蚀真空泵);气路系统一套，水路系统一套;石英部件(石英管、石英舟)、石墨部件(衬底托、支撑杆等);空气压缩机系统一套;计算机自控系统一套;特气柜2个与湿法尾气处理系统一套;冷水机系统一套;过滤器一套，含2滤芯。 合同履行期限：自合同签订之日起4个月内完成交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、获取招标文件 时间：2024年03月19日 至 2024年03月25日，每天上午9:00至14:00，下午14:00至17:00。(北京时间，法定节假日除外) ...
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