项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之等离子去胶机招标项目编号:XXXXX011招标范围:设备名称:等离子去胶机设备数量:5台设备用途:主要用于对8英寸MEMS工艺中光刻底膜去除、刻蚀或离子注入后的干法...
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