澄清或变更简要说明:本项目投标截止时间变更为:2024年05月31日中国仪器进XXXXX公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-05-20在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称:揭膜机设备数量:2台设备用途:新增揭膜机主要用于晶圆背面蓝膜、UV膜的去除。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX006招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之揭膜机(重新招标)项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 揭膜机 2台 Load/Unload单元Load/Unload单元用于晶圆上/下片传输,采用Robot手臂真空吸附的方式将晶圆从SMIF Pod内取出,放入到对位平台单元来实现晶圆片的对位操作。完成揭膜后的晶圆片由Robot 手臂吸真空的方式,由承载平台取出,放回Pod内;晶圆对位单元晶圆采用光学自动对位,对晶圆片进行寻边,Flat or Notch对准操作;晶圆承载、揭膜单元晶...
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