半导体部件清洗扩建项目

一、项目概况建设项目名称：半导体部件清洗扩建项目项目地址：安徽省芜湖市弋江区芜湖市弋江区高安街道境内(支一路以东、裕民路以南、矶山路以北)建设内容：本项目租赁芜湖通潮精密机械股份有限公司现有已建厂房进行生产，不涉及土建。1#~4#清洗线主要进行硅电极、石英环、碳化硅清洗，5#~7#清洗线主要进行加热器、阀板等部件清洗。化学品仓库、污水处理设施、一般固废暂存库、危废暂存场所均依托现有。项目性质：扩建 二、建设单位名称和联系方式(1) 建设单位：芜湖芯通半导体材料有限公司(2) 联系人：【已隐藏】(3) 联系电话【已隐藏】建设项目名称半导体部件清洗扩建项目项目代码2605-340203-07-02-992811建设单位联系人王宇航联系方式【已隐藏】建设地点芜湖市弋江区高安街道境内(支一路以东、裕民路以南、矶山路以北)地理坐标经度118°07′55.473″，纬度31°11′33.708″国民经济行业类别半导体器件专用设备制造［C3562］建设项目行业类别三十二“专用设备制造业35”中第70电子和电工机械专用设备制造356建设性质□新建（迁建）□改建R扩建□技术改造建设项目申报情形R首次申报项目□不予批准后再次申报项目£超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）弋江区工业和信息化局项目审批（核准/备案）文号（选填）三经发[2023]8号总投资（万元）2000环保投资（万元）50环保投资占比（%）2.5施工工期3个月是否开工建设R否£是用地（用海）面积（m2）2000平方米（不新增用地，依托租赁芜湖通潮精密机械股份有限公司现有厂房）   本项目主要设施一览表序号名称长（mm）宽（mm）高（mm）槽数（个）单槽有效容积（m3）备注1#孔刻蚀线（位于3#厂房刻蚀间）1脱脂槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理2脱脂槽65065065010.223脱脂槽65065065010.224冲淋水洗槽65065065010.22/5刻蚀槽65065065010.22/6酸洗槽65065065010.22/7纯水浸泡槽65065065010.22/8脱脂槽65065065010.22/9冲淋槽65065065010.22/2#石英清洗线（位于3#厂房刻蚀间）1脱脂槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理2脱脂槽65065065010.223冲淋槽65065065010.22/4酸洗槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理5酸洗槽65065065010.226纯水浸泡槽65065065010.22/7冲淋槽65065065010.22/3#石英清洗线（位于3#厂房清洗间）1脱脂槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理2脱脂槽65065065010.223冲淋槽65065065010.22/4酸洗槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理5酸洗槽65065065010.226冲淋槽65065065010.22/7酸洗槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理8酸洗槽65065065010.229冲淋槽65065065010.22/10酸洗槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理11酸洗槽65065065010.2212冲淋槽65065065010.22/13纯水浸泡槽65065065010.22/14冲淋槽65065065010.22/15纯水浸泡槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理16纯水浸泡槽65065065010.224#碳化硅清洗线（位于3#厂房清洗间）1脱脂槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理2脱脂槽65065065010.223冲淋槽65065065010.22/4刻蚀槽65065065010.22/5冲淋槽65065065010.22/6酸洗槽65065065010.22/7冲淋槽65065065010.22/8中性槽65065065010.22/9冲淋槽65065065010.22/10酸洗槽65065065010.22/11冲淋槽65065065010.22单个工件只进一个槽体处理12冲淋槽65065065010.225#金属清洗线（位于4#厂房）1备用槽100080080010.51/2超声波脱脂槽100080080010.51/3水洗槽100080080010.51/4酸洗槽100080080010.51/5水洗槽100080080010.51/6化洗槽100080080010.51/7水洗槽100080080010.51/8水洗槽1000220080011.41/9超声波水洗槽100080080020.51/10温水洗槽100080080020.51/11水洗槽100080080020.51/12清洗槽90090060010.39/13酸洗槽60060060010.17/14碱洗槽60060060010.17/15水洗槽60060060010.17/6#清洗线（位于4#厂房）1脱脂槽60060060010.17/2水洗槽60060060010.17/3酸洗槽60060060010.17/4水洗槽60060060010.17/5酸洗槽60060060010.17/6超声波水洗槽60060060010.17/7#清洗线（位于4#厂房）1酸洗槽2300800100021.47/2水洗槽2300800100021.47逆流水洗3碱洗槽2300800100021.47/4水洗槽2300800100021.47逆流水洗 项目其他主要设施一览表序号名称规格数量备注1水泵3t/h75/2过滤机3t/h37/3超声波发生器/18/4超纯水制备设备45t/d1/5烘箱COL-280-HMI53#石英清洗线和4#碳化硅清洗线使用6煮沸机YCP-QRTL；有效容积为0.21m363#石英清洗线和4#碳化硅清洗线使用